Erittely | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (ilmalaakerikisko) |
Moottorin tyyppi | Kolmivaiheinen rautaton moottori | Äänikelan moottori+ |
Resoluutio | Oletusarvoinen 100 nm digitaalinen määrä | 1vpp alas 5nm |
Moottorin työntövoima | Jatkuva 60N/huippu 210N | Jatkuva 60N/huippu 210N |
Pienin askelkoko [nm] | 200nm | 100 nm |
Matkailu [mm] | 200×200 | 10 |
Toistettavuus [um] | ±0,3 | |
Asennon tarkkuus [um] | ±1 | ±0,5 |
Tasaisuus [um] | 10um | 5um |
Suoruus [um] | 1um | 1um |
Suurin nopeus [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
Kantavuus [kg] | 5kg (Z-akseli pneumaattisella vakiovoiman tasapainopainolla) |